小型の半導体チップを製造するための加工技術。現在、パソコンの心臓部に当たる中央演算処理装置(CPU)は、わずか130ナノメートルほどの加工技術で製造されている。1ナノメートルとは、1ミリメートルの100万分の1の大きさで、原子や分子に迫るスケールだ。CPU内部のトランジスタ配線は、この間隔で加工されている。インテルは、最先端の微細加工技術を使って、パソコン用CPUの高性能化を図る計画を発表した。2003年には、90ナノメートル・プロセス製品の量産に踏み切る。
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